真空腔體氣體傳感器 加熱主要用于氣體敏感材料或其他對(duì)環(huán)境敏感性材料中的電化學(xué)信號(hào)測(cè)試。測(cè)試腔體可擴(kuò)展模塊較多，該腔體設(shè)計(jì)有進(jìn)氣口和抽真空接口和4-8芯信號(hào)真空電極及真空計(jì)接口，腔體上部安裝有φ80石英觀察片方便觀察樣品和光學(xué)用途。

真空環(huán)境測(cè)試真空加熱腔主要用于氣體敏感材料或其他對(duì)環(huán)境敏感性材料中的電化學(xué)信號(hào)測(cè)試。測(cè)試腔體可擴(kuò)展模塊較多，該腔體設(shè)計(jì)有進(jìn)氣口和抽真空接口和4-8芯信號(hào)真空電極及真空計(jì)接口，腔體上部安裝有φ80石英觀察片方便觀察樣品和光學(xué)用途。

不銹鋼加熱真空腔體主要用于氣體敏感材料或其他對(duì)環(huán)境敏感性材料中的電信號(hào)測(cè)試。測(cè)試腔體內(nèi)部裝有不銹鋼加熱承載臺(tái)，臺(tái)面為50x50mm，臺(tái)面可升溫到350℃。

方型真空加熱腔主要用于氣體敏感材料或其他對(duì)環(huán)境敏感性材料中的電信號(hào)測(cè)試。測(cè)試腔體內(nèi)部裝有不銹鋼加熱承載臺(tái)，臺(tái)面為φ100mm，臺(tái)面可升溫到350℃。該腔體設(shè)計(jì)有進(jìn)氣口和抽真空接口和2-4芯信號(hào)真空電極，多可選用6芯電極。使用時(shí)將需檢測(cè)的器件固定在加熱臺(tái)上，由內(nèi)部探針行將樣品電極引入腔體的信號(hào)線連接到外部測(cè)試儀器，外部信號(hào)線連接測(cè)試儀器來測(cè)試電子信號(hào)。

氣敏材料測(cè)試真空加熱腔體主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)、光電行業(yè)、集成電路以及封裝的測(cè)試。廣泛應(yīng)用于復(fù)雜、高速器件的精密電氣測(cè)量的研發(fā)，旨在確保質(zhì)量及可靠性，并縮減研發(fā)時(shí)間和器件制造工藝的成本