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        當前位置:首頁產品中心材料樣品處理小型濺射儀KT-1650PVD小型離子濺射儀

        小型離子濺射儀

        產品簡介

        小型離子濺射儀KT-Z1650PVD是一款小型臺式濺射功率可控磁控濺射儀,儀器雖小功能齊全,配備有電壓 電流反饋,樣品臺旋轉,樣品高度調節,及電動擋板功能。

        產品型號:KT-1650PVD
        更新時間:2024-03-27
        廠商性質:生產廠家
        訪問量:1789
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        品牌鄭科探應用領域電子/電池


              鄭科探小型離子濺射儀KT-Z1650PVD是一款小型臺式濺射功率可控磁控濺射儀,儀器雖小功能齊全,配備有電壓 電流反饋,樣品臺旋轉,樣品高度調節,及電動擋板功能。

           小型離子濺射儀通過定時調節預濺射功率及薄膜沉積功率,可對大部分金屬進行均勻物理沉積,真空腔室為透明石英玻璃減少樣品污染,樣品臺可旋轉以獲得更均勻的薄膜,可制備各種金屬薄膜。


        控制方式


        7寸人機界面 手動 自動模式切換控制

        濺射電源

        直流濺射電源

        鍍膜功能

        0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序

        最大功率

        ≤1000W

        最大輸出電壓電流

        電壓≤1000V  電流≤1A

        極限真空

        機械泵 ≤5Pa(5分鐘)   分子泵≤5*10^-3Pa

        濺射真空

        ≤10Pa

        擋板類型

        電控

        真空腔室

        石英+不銹鋼腔體φ160mm x 170mm

        樣品臺

        可旋轉φ62  (最大可安裝φ50基底)

        樣品臺轉速

        8轉/分鐘

        樣品濺射源調節距離

        40-105mm

        真空測量

        皮拉尼真空計(已安裝 測量范圍10E5Pa  1E-1Pa)

        預留真空接口

        KF25抽氣口    KF16放氣口   6mm卡套進氣口




                                                                                                                                                                                                                                  














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